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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]静电卡盘-CN201810744977.2在审
发明人：千东谦太;饭田英一;山田智広;西田吉辉;高桥宏行;藤谷凉子;横尾晋 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供静电卡盘，该静电卡盘抑制了在带与保持面之间产生气泡，防止带灼烧。静电卡盘(4)利用保持面(41)对在下表面粘贴有带(T)的晶片(W)进行保持，该静电卡盘(4)包含：多个细孔(40)，它们形成于保持面，与吸引源(43)连通；凹凸(D)，其形成在保持面上，与多个细孔连接；以及电极(44)，其配设在该静电卡盘(4)的内部。
静电卡盘细孔吸引源晶片连通表面粘贴电极灼烧吸引

[发明专利]静电卡盘-CN202010064038.0在审
发明人：黄正训;刘翰均;曺尚范 -专利权人：美科陶瓷科技有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电卡盘。本发明提供一种静电卡盘，包括：基材；及静电卡盘板，固定于所述基材上，并且包括被施加用于卡紧和解除卡紧的多个电极，所述多个电极具有从所述静电卡盘板的边缘的起点向中心侧的终点延长的螺旋形图案，所述螺旋形图案的旋转角是
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN202080007377.3在审
发明人：古川直树 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2020-01-23 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：具备：具有试样保持面的绝缘基体(1)；和与绝缘基体(1)接合的支承体(2)，设置于绝缘基体(1)的第1贯通孔(9)与设置于支承体(2)的第2贯通孔(7)连通并构成气体流入孔。在第2贯通孔(7)设置多孔质构件(5)。第2贯通孔(7)之中面对绝缘基体1的一侧的开口(基体侧开口)的开口直径比第1贯通孔(9)的直径大，第2贯通孔(7)的开口和吸附电极(6)在与试样保持面平行的方向上错开配置。即，在俯视下，成为吸附电极(6)和第2贯通孔(7)不重复的结构。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN202010518120.6在审
发明人：李珠熙;李澔;赵秀范;许明洙;金太钟;安珖成;柳海永;张容文 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘，为了将静电卡盘与基板的间隙最小化来防止气体泄漏，具备：主体部，配置有在一面上具备显示要素的基板；第一绝缘层，介于所述主体部与所述基板之间；第一电极层，配置在所述第一绝缘层上，且上表面距所述基板的另一面远离了第一距离
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN202080031109.5在审
发明人：竹林央史;相川贤一郎;久野达也 -专利权人：日本碍子株式会社
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：静电卡盘具备陶瓷基材、陶瓷电介质层、静电电极和陶瓷绝缘层。陶瓷电介质层配置在陶瓷基材上，比陶瓷基材薄。静电电极埋设在陶瓷电介质层与陶瓷基材之间。陶瓷绝缘层配置在陶瓷电介质层上，比陶瓷电介质层薄。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN202210014694.9在审
发明人： J.A.桑蒂兰;H.高;S.库塔思 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：公开了静电卡盘和形成静电卡盘的方法。示例性静电卡盘包括陶瓷主体、嵌入陶瓷主体内的器件以及形成在器件上的界面层。示例性方法包括在模具内提供陶瓷前体材料，提供器件，用界面材料涂覆器件以形成涂覆的器件，将涂覆的器件放置在陶瓷前体材料上或内，以及烧结陶瓷前体材料以形成静电卡盘和器件与烧结步骤期间形成的陶瓷材料之间的界面层
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN202180013642.3在审
发明人：久野达也 -专利权人：日本碍子株式会社
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：静电卡盘20具备：圆盘状的陶瓷板22，其在表面具有晶片载放面22a；静电电极30，其植入于陶瓷板22；以及气体沟25a～25g，它们在从上方观察陶瓷板22时被分为多个区段Z1～Z7，按在各区段从一对气体供排口
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN202280011188.2在审
发明人：藤田航 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本公开所涉及的静电卡盘包含：板状体，具有用于载置被吸附物的吸附面；基体；以及电极膜，位于板状体与基体之间。板状体以及基体由蓝宝石形成。吸附面与蓝宝石的c面所成的角为45°以上。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN201510647044.8有效
发明人：奥川圭介;篠崎洋辅;野村俊寿 -专利权人：日本特殊陶业株式会社
申请日： 2015-10-08 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供能通过简化构造来降低主体基板上的特异点的数量和面积，且能通过减少工时等实现制造的容易化和制造效率的提高的静电卡盘。静电卡盘包括：主体基板(11)，其由陶瓷形成，且具有基板正面和基板背面；吸附用电极，其设于主体基板；金属基座(12)，其具有基座正面和基座背面，且配置为基座正面朝向主体基板的基板背面侧；内部通孔(51)
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN201710580505.3有效
发明人：刘建 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘，其包括底座、设置在所该底座上的加热层及设置在该加热层上的绝缘层，在底座与绝缘层之间，且环绕在加热层的外周壁上设置有环状保护部件，该环状保护部件采用抗等离子体腐蚀的弹性材料制作，且环状保护部件在底座与绝缘层之间处于压缩变形状态本发明提供的静电卡盘，其环状保护部件具有较高的抗等离子体腐蚀性，从而可以增强对加热层的保护作用，而且该环状保护部件可以实现定期更换，且不会损坏加热层，从而延长了静电卡盘的使用寿命。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN200710118502.4有效
发明人：彭宇霖 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-07-06 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电卡盘，包括绝缘层，所述的绝缘层的上表面设有多个凸点，多个凸点呈矩阵式或圆周式均匀分布。有利于氦气进入晶片与绝缘层之间的缝隙实现对晶片的传热，使晶片表面温度分布均匀。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN200510126383.8有效
发明人：刘利坚 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2005-12-08 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种带加热器的、且表面绝缘层为烧结陶瓷的静电卡盘。本发明的静电卡盘包括基座、盘面绝缘层以及位于基座和盘面绝缘层之间的加热器，其中所述盘面绝缘层上邻近基座侧设有凹槽，所述加热器镶嵌在该凹槽内，盘面绝缘层上的凹槽壁部分形成用于保护加热器的保护环。本发明的静电卡盘的优点和积极效果在于：由于保护环为与盘面绝缘层一体结构，即保护环为陶瓷材料制成，陶瓷材料的抗腐蚀性能远远大于环氧树脂，所以本发明中的加热器得到了更充分的保护，故使用寿命长，因此也延长了静电卡盘的使用寿命
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN200510126302.4有效
发明人：吉美爱 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2005-12-05 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种静电卡盘，包括绝缘层和基座，其特征在于，在绝缘层上设有圆形通路和位于圆形通路内并与之相连的气体通路网，所述气体通路网包括若干条对称布置的直径通路和若干个对称布置的等边三角形通路，且组成三角形通路的三个分通路与直径通路中相互平行的通路之间的距离相等
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN200510126348.6有效
发明人：吉美爱 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2005-12-07 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有双电极的静电卡盘。本发明静电卡盘包括绝缘层和设置在绝缘层内的电极，其中电极包括正电极和负电极，所述正电极和负电极拼接在一起形成圆形，正电极由位于中央位置的圆形部分和与该圆形部分一体的偶数个均匀分布的扇形部分组成。本发明的静电卡盘的优点和积极效果在于：由于正电极和负电极拼接在一起形成圆形，负电极由位于中央位置的圆形部分和与该圆形部分一体的偶数个均匀分布的扇形部分组成，所以在整圆的360度范围内，均匀分布，且严格对称，很好地实现了静电引力的均匀对称性，不会让晶片出现向一边倾斜的现象。
静电卡盘

[发明专利]静电卡盘-CN201811048903.1有效
发明人：杨鹏远;张玉利;王建冲;侯占杰;唐娜娜;韩玮琦;黎远成;荣吉平;姜鑫 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及蚀刻设备领域，其目的是提供一种静电卡盘，用于待蚀刻晶片的载台。所述静电卡盘包括绝缘层、金属基座和介于绝缘层与金属基座之间的加热层，在所述绝缘层和金属基座相贴合面的至少其中之一上设有凹槽，借助凹槽使绝缘层与金属基座组装在一起后界定出一个容纳室，该容纳室内安装加热层、本发明利用容纳室的侧壁和陶瓷环对加热层上下面的粘接材料层起到保护作用，防止被蚀刻气体所腐蚀，导致静电卡盘表面温度不均匀，各层粘接部件翘曲等影响静电卡盘使用寿命的问题。
静电卡盘

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